Применяется в старых установках совмещения и экспонирования ЭМ-5026.

   Разрядная ртутная ксеноновая лампа ДРКс-500-1 мощностью 500 Вт используется в качестве точечного источника ультрафиолетового излучения в оборудовании предприятий микроэлектронной промышленности.

Общие сведения

   Газоразрядная лампа ДРКс2-500-1
состоит из сферической колбы из кварцевого стекла, заполненной ксеноном, металлизированным парами ртути. Электрическая дуга образуется между впаянными в колбу электродами, напряжение на которые электроды производится через цоколи специальной формы под гайку М6. Маркировка лампы раскрывает ее основные свойства и характеристики:

• Д – дуговая;
• Р – ртутная;
• Кс – ксеноновая;
• 500 – мощностью 500 Вт.
• 1 — модификация (разработана для установки ЭМ-5026).

  Эксплуатируется ксеноновая лампа ДРКс в вертикальном положении, анодом вверх, при этом изготовитель регламентирует максимальное отклонение оси лампы от вертикали в пределах ±15°. Запуск лампы производится через дроссель от сети переменного тока
напряжением 220 В и частотой 50 Гц. Другие характеристики лампы ДРКс2-500-1:

• напряжение на лампе – 25 В;
• ток на лампе – 20 А;
• зазор между электродами – 3 мм;
• длина лампы – 195 мм;
• диаметр сферической части – 30 мм;
• климатическое исполнение – УХЛ 4.2, позволяющее эксплуатировать лампу в крытых отапливаемых помещениях с механической вентиляцией и в
  диапазоне температур от +10°С до +35°С.

   Изготовленная дуговая ртутная ксеноновая лампа сверхвысокого давления и непрерывного действия с короткой дугой ДРКс заворачивается в упаковочный поролон, укладывается в полиэтиленовый пакет, который после этого запаивается. В упаковочную коробку из твердого картона укладываются текстильные пакетики с силикагелем, поглощающим влагу, попавшую в упаковку.

Применение

   Точечный источник ультрафиолетового излучения — дуговая ртутная ксеноновая лампа ДРКс позволяет решить весьма ограниченный круг задач. Она используется:

• в фотолитографическом оборудовании, выполняющем завершающие операции по изготовлению микрочипов;
• в проекционных установках, изготавливающих большие и сверхбольшие интегральные схемы;
• в станках для изготовления печатных плат с высокоплотными соединениями;
• в установках для пошаговой проекционной мультипликации.

   Хороший спрос на ксеноновые лампы ДРКс2-500-1 определяется интенсивной работой предприятий микроэлектронной промышленности.