Ртутно-ксеноновые лампы

Короткодуговые, ртутно-ксеноновые, шаровые, сверхвысокого давления лампы типа ДРШ, ДРКс, ДРИШ и др. Используются в качестве точечного источника коротковолнового УФ-излучения в фотолитографическом оборудовании микроэлектроники и оптических устройствах широкого применения.